基于柔性钛箔的低温水热压电薄膜超声波传感器（PZT PMUT）阵列，具备声学聚焦功能，适用于贴体式超声应用

王志春|冯国华

• •
  通过180°C水热工艺在钛箔上制备了柔性压电薄膜超声换能器（PZT PMUTs）。
• •
  采用SU-8 2002绝缘材料消除了短路现象，提高了器件产率。
• •
  这些PZT PMUTs在中频空气耦合超声波下表现出稳定的28 kHz共振频率。
• •
  弯曲阵列（半径R=15毫米）实现了2 dB的声压级（SPL）增益，并提升了聚焦效果。
• •
  这种低成本制造方法为可贴合式的超声系统提供了平台。