• 综述：用于MEMS应用的异质外延3C-SiC Angela Garofalo, Annamaria Muoio, Luca Belsito, Sergio Sapienza, Matteo Ferri, Alberto Roncaglia, Francesco La Via

  摘要：碳化硅（SiC）因其卓越的机械、热学和化学性能，已成为在恶劣环境中运行的微机电系统（MEMS）中极具吸引力的材料。本文全面概述了基于SiC的MEMS的优势和局限性，特别强调了材料结构、机械性能和外延生长过程之间的密切关联。文中讨论了缺陷、残余应力和晶体质量对器件性能和可靠性

  来源：Micromachines

  时间：2026-04-29

• 基于单向模式的全光太赫兹双频逻辑门 郭德旺、 游云、 刘志敏、 徐杰

  摘要 全光逻辑门作为一种关键技术，已经涌现出来，用于实现宽带、低损耗和高速通信系统，解决了电子逻辑门固有的带宽限制问题。在这里，我们提出了一种Y形结构，利用太赫兹范围内的单向模式，使得在低频和高频带宽区域内实现多功能全光逻辑门成为可能，包括但不限于AND、

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  时间：2026-04-29

• 基于BO-LSTM的电容式MEMS陀螺仪TDE精确估计模型：利用热诱导物理特性变化进行分析 齐冰（Bing Qi）、 李鹏（Peng Li）、 丁继成（Jicheng Ding）、 贾春（Chun Jia） 田浩（Hao Tian）

  摘要：由于传统的电容式微机电系统（CMG）温度漂移误差（TDE）精确估计模型缺乏完整的温度相关量（TCQ），并且参数识别方法不完善，无法有效减少偏差稳定性，本文提出了一种基于长短期记忆网络（LSTM）和贝叶斯优化（BO）的TDE精确估计模型，该模型利用热诱导的物理特性变化进行分析

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  时间：2026-04-29

• 关于（110）硅各向异性刻蚀中基底轮廓抑制现象的研究 王志深、 谢国亮、 徐高伟、 李根子、 周卫虎、 傅东志、 孔凌德、 陈志文、 刘胜

  摘要 检测材料介电常数的变化在电子信息、材料科学、生物医学等多个领域具有重要的应用价值。然而，现有的检测方法受到样品厚度和共振强度等因素的限制，难以在所需的频率范围内实现高灵敏度的介电常数检测。本文提出了一种基于伪表面等离子体极化子（SSPPs）在双路传输结构中的破坏性干涉效应来

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  时间：2026-04-29

• 综述：工业人造纤维与天然纤维的切割机制——综述 胡珊珊（Shanshan Hu） 马梦梦（Mengmeng Ma） 吴志良（Zhiliang Wu） 黄玉媛（Yuyuan Huang） 姜庆瑞（Qingrui Jiang） 杨成基（Chengji Yang）

  摘要：工业合成纤维和天然纤维在现代制造业、航空航天、汽车和纺织工程中发挥着不可或缺的作用。然而，先进工业纤维的优异机械性能在切割过程中带来了显著挑战，因为脆性、高拉伸强度和粘弹性纤维的断裂行为与传统固体材料完全不同。目前，关于纤维与切割工具在自由形态下的复杂运动耦合机制尚未充分研

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  时间：2026-04-29

• 微振动对精密光学系统成像性能的光机电一体化分析 刘瑞静、 梁振、 张玉英、 李青雅

  摘要：为了探讨反应轮扰动对空间光学望远镜图像质量的影响，建立了一个精密光学系统的综合动态模型，并采用光机械集成分析方法来计算在反应轮干扰下光学望远镜的视线（LOS）误差，以及基于整个卫星层次结构确定对LOS误差贡献最大的关键模式。分析了由光学反射镜在反应轮扰动下产生的刚体位移和镜

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  时间：2026-04-29

• 在第三象限开关条件下，4H-SiC MOSFET的沟道和体二极管导电特性 黄晓冰、 宋一辉、 钟启宇、 王志刚

  摘要：本文从载流子传输的角度研究了碳化硅（SiC）MOSFET在第三象限的工作特性，重点关注两条平行导电路径之间的相互作用。通过实验表征和TCAD仿真，分析了在不同栅源偏压条件下PiN体二极管和MOS通道的导电行为。研究结果表明，体效应引起的阈值电压（Vth）降低使得即使在负栅压

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  时间：2026-04-29

• 基于第一性原理研究的石墨烯局部放电传感器电荷参数特性分析 张慧媛、 贾鹏飞、 聂明、 朱家云、 李志远

  摘要 随着透明电网的提出，先进的传感器研究已成为一个热点话题。局部放电（PD）传感器是一种专门用于捕捉电力系统绝缘中局部放电现象产生的电信号的装置，能够实现绝缘状态的实时监测和潜在故障的早期预警。然而，传统PD传感器的检测灵敏度和信号传输效率受到其传感材料固有特性的限制。本文重点

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  时间：2026-04-29

• 基于热物理现象学的熔融材料自组织框架在激光重熔表面抛光中的应用：概念构建与初步分析 叶夫根尼·博尔达切夫（Evgueni Bordatchev）

  摘要 激光抛光（LP）的目标是提高功能部件、组件和装配体的表面质量。LP是一个复杂的非线性热物理过程，在此过程中，激光辐射会导致初始表面纹理粗糙的材料局部熔化。在LP过程中，由于瞬态熔融流动、热传递和激光-材料相互作用区域内的快速固化，系统的热力学状态会动态演变。通过表面张力驱动

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  时间：2026-04-29

• 综述：集成光子传感器中的表面与界面工程：性能权衡、稳定性及基准测试 尼古拉·L·卡赞斯基（Nikolay L. Kazanskiy）、 德米特里·V·涅斯特连科（Dmitry V. Nesterenko） 斯韦特兰娜·N·霍尼娜（Svetlana N. Khonina）

  摘要 表面与界面工程已成为决定集成光子传感器性能和可靠性的关键因素。随着光子器件架构的进步以及几何优化策略接近其基本性能极限，纳米尺度界面区域——其中受限的光学模式与周围环境相互作用——逐渐成为控制灵敏度、噪声特性和长期运行稳定性的主导因素。本综述批判性地

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  时间：2026-04-29

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