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综述:用于晶圆翘曲测量的集成FOUP的光谱共聚焦模块的关键技术
旋转双探针模块化共聚焦测量系统通过极坐标扫描与Zernike多项式建模实现12英寸硅片全局形变高效检测,采用标准球体与平面镜两阶段标定消除几何误差,结合三点支撑重力补偿抑制结构变形,实验表明系统可实现2.22μm重复性精度和60 wp/h处理速度。
来源:Optics and Lasers in Engineering
时间:2026-03-21
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基于光载波微波干涉技术的聚合物光纤增强分布式温度传感
基于OCMI的CYTOP聚合物光纤分布式温度传感系统研究,通过光子丝路微加工技术制备级联弱反射器光纤干涉仪阵列,利用CYTOP材料低红外衰减和高热膨胀系数特性,实现温度灵敏度-250 kHz/°C,较常规石英光纤提升6倍,实验标准差低于1°C,系统具备优异重复性和可逆性,为工业复杂环境分布式测温提供新方案。
来源:Optics and Lasers in Engineering
时间:2026-03-21
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利用非均匀曝光融合散射测量技术进行的光学叠加计量
半导体光刻工艺中覆盖层精度测量受非均匀曝光影响显著,本研究提出基于光学响应函数的分段自适应校正与傅里叶空间加权融合方法,通过像素置信度、探测器灵敏度及平均光强三重权重优化散射图像融合,有效抑制饱和与欠曝问题。实验表明该方法将测量误差降低至传统方法的1/3以下,为高精度散射计量提供新方案。
来源:Optics and Lasers in Engineering
时间:2026-03-21
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通过连续波激光诱导的三次谐波产生技术对混合钙钛矿材料进行无创成像
首次利用1064 nm连续波激光与0.9 NA物镜实现非侵入式混合钙钛矿成像,通过THG激发避免直接紫外光致降解,结合激光捕获结晶技术控制晶体生长,为高稳定性光电器件开发提供新方法。
来源:Optical Materials
时间:2026-03-21
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用于优化光纤中非线性脉冲传播的田口方法
非线性光纤脉冲传播的优化研究:基于Taguchi方法的正交数组设计与应用
来源:Optical Fiber Technology
时间:2026-03-21
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基于光纤布拉格光栅的传感器在折射率检测水污染物方面的建模与制造技术进展:技术综述
光纤布拉格光栅(FBG)传感器在水质监测中的应用综述。本文整合折射率基传感的理论模型(耦合模理论、传递矩阵法等)与制造工艺(相位掩模、纳米颗粒修饰),分析灵敏度提升机制及温度-应变等挑战,提出与等离子体共振、AI光谱分析等融合的创新方向,并首次系统对比了重金属离子、硝酸盐及大肠杆菌检测的FBG传感器性能。
来源:Optical Fiber Technology
时间:2026-03-21
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利用微波增强技术,在Cu/Fe-beta催化剂上实现低温NH3-SCR反应,高效去除NOx污染物
Cu/Fe-beta zeolites通过微波场调控实现了80-200℃低温高效NH3-SCR催化,Cu²⁺主导NH3吸附活化,Fe³⁺促进NO氧化,微波加速金属氧化物转化为高分散离子态,提升Cu²⁺/Cu和Fe³⁺/Fe比值,增强电荷转移及氧空位(Ov)生成,优化了活性氧物种浓度。
来源:Microporous and Mesoporous Materials
时间:2026-03-21
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磷酸辅助的超快合成方法制备多孔氮磷共掺杂的生物质衍生碳材料,用于电磁波吸收
本研究采用焦耳加热技术快速活化磷oric acid浸渍的咖啡渣,制备出氮、磷、氧共掺杂的多孔碳材料,具有高比表面积(409.79 m²/g)和多层孔结构,实现有效吸收带宽3.75 GHz,厚度仅1.6 mm,揭示了结构-性能优化机制。
来源:Materials Today Chemistry
时间:2026-03-21
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通过MBE技术在GaAs衬底上沉积的GaSb缓冲层与InAs/AlSb超晶格之间的应力减小
晶格失配调控与缓冲层质量对InAs/AlSb超晶格结构的影响研究。通过分子束外延制备三种GaSb缓冲层及单层缓冲测试件,在单一生长过程中沉积InAs6ML/AlSb5ML超晶格,利用高分辨X射线衍射分析其倒易点阵图,发现缓冲层质量直接影响超晶格结晶质量,界面工程可有效降低晶格失配。
来源:Materials Science and Engineering: B
时间:2026-03-21
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通过化学浴沉积技术在ZnSe基底上控制CdSe层状结构的形成过程
氧还原反应电催化剂性能提升研究。通过将Fe、Ni、Zn金属酞菁固定于金纳米颗粒修饰的膨润土载体,构建MPc-AuBt复合催化剂。实验证实金纳米颗粒作为导电核心,有效促进电荷转移并缩小能带隙,显著提高ORR活性。其中FePc@AuBt在0.1 M KOH中表现出最优性能, onset potential提升,抗甲醇中毒性强,Tafel斜率低,循环稳定性达5000次以上。该策略为分子催化剂与金属纳米颗粒改性天然黏土的协同效应提供了新范式。
来源:Materials Science and Engineering: B
时间:2026-03-21