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摘要超快激光技术在科学和技术领域带来了诸多突破:它们推动了角膜手术的发展1,揭示了化学反应的动力学过程2,并促进了光学原子钟的研发3。在过去的几十年里,人们付出了大量努力,旨在实现基于光子集成电路(PICs)的锁模激光器,这些激光器体积小巧、可在晶圆层面制造,并且能够与其他芯片功
超快激光技术在科学和技术领域带来了诸多突破:它们推动了角膜手术的发展1,揭示了化学反应的动力学过程2,并促进了光学原子钟的研发3。在过去的几十年里,人们付出了大量努力,旨在实现基于光子集成电路(PICs)的锁模激光器,这些激光器体积小巧、可在晶圆层面制造,并且能够与其他芯片功能兼容456。然而,迄今为止的演示还缺乏驱动非线性过程(如超连续谱生成)所需的脉冲能量。在这里,我们展示了一种通过使用掺铒离子的硅氮化物PICs来克服这一挑战的锁模激光器7。该激光器采用了Mamyshev振荡器架构8,其中交替光谱滤波和自相位调制实现了锁模,并且能够支持较大的非线性相位移动9。该激光器无需外部种子脉冲即可运行,产生176 MHz的脉冲序列,脉冲能量达到纳焦耳级别,与光纤激光器相当,且比之前的基于PIC的激光器高出两个数量级。其输出具有高相干性,可以线性压缩至147 fs,并且可以直接在Si₃N₄波导中驱动一个覆盖1.5个八度的超连续谱,无需进一步放大。由该激光器驱动的紧凑型太赫兹时域光谱仪实现了5 THz的带宽和90 dB的动态范围。我们展示了其在非接触式化学分析和检测中的应用。我们的结果展示了集成式超快激光器的潜力,其应用范围从芯片级频率计量学到便携式光谱系统。
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