微测辐射热计是一种红外探测器，其电阻会随温度变化而变化。来自不同温度物体的红外辐射照射到微测辐射热计的表面上，导致其温度升高，进而改变测辐射热计的电阻。虽然非晶硅（a-Si）和钒氧化物（VOx）是商业应用中最常用的两种微测辐射热计材料，但其他几种新材料，如掺杂钒氧化物（doped-VOx）、锗基合金、氧化铌、二氧化钛、碳纳米管和石墨烯，也显示出潜力。本文对用于微测辐射热计传感层的传统材料及潜在新材料进行了全面分析。此外，还介绍了每种材料的原子组成、沉积和合成工艺，以及与微测辐射热计应用相关的电光性能和其他特性。该分析还深入探讨了迄今为止使用这些材料制成的微测辐射热计的各项性能指标，包括电阻温度系数、响应度、灵敏度和噪声等效温差（NETD）等。同时，也对比了不同材料制成的微测辐射热计的性能。
