一项关于真空蒸馏法提纯铟过程中关键杂质迁移与分布的研究

时间:2026年1月2日
来源:Separation and Purification Technology

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铟的高纯度制备面临杂质去除难题,传统方法如电解精炼和区域熔炼效率有限。本研究基于不同杂质元素与铟的饱和蒸气压差异,提出两阶段真空蒸馏工艺:低温阶段选择性挥发Zn、Cd、Pb、Tl,高温阶段分离Sn、Al、Cu、Fe。通过系统实验验证,该工艺成功突破关键杂质(Sn、Pb、Al、Tl)的深度去除瓶颈,实现铟纯度从4N5提升至6N以上,为半导体材料制备提供新路径。

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Jiapeng Zhang|Boren Ai|Jinliang Fang|Lingxin Kong|Bin Yang|Baoqiang Xu

摘要

由于铟具有较高的渗透性和导电性,因此它是制造ITO靶材和基于铟的半导体的关键材料。特别是生产InP半导体时,需要纯度至少为6N的铟,而未来的技术应用预计将要求更高的纯度水平。传统的铟提纯方法包括电解精炼、真空蒸馏、区熔法和Czochralski法。理论和实验分析表明,铟与杂质(如Zn、Cd、Pb、Tl、Sn、Al、Cu和Fe)之间的饱和蒸汽压存在显著差异,这使得真空蒸馏成为一种有效的分离技术。基于这一原理,本研究提出了一种两阶段真空蒸馏工艺以实现深度杂质去除。通过系统实验研究了杂质的迁移和分布情况,成功解决了去除关键杂质的技术难题。

引言

铟具有许多优异的性能,如高延展性、强塑性、出色的光学透明度和高导电性[1,2]。它是多种先进应用中的关键原材料,包括液晶显示器(通过ITO靶材[3,4])、III-V族半导体(如InP[5,6]、InSb和InAs[7,8])以及太阳能光伏(例如CIGS薄膜太阳能电池[9,10])。根据欧盟委员会的报告,全球超过70%的铟用于制造ITO靶材[11,12],约6%用于CIGS太阳能电池[13]和基于铟的合金[14],这些应用要求铟的纯度至少为5N。另有12%的铟用于电子半导体[15,16],这些应用所需的纯度超过6N。
近年来,新型显示技术、电子通信技术的快速发展以及量子设备的出现进一步凸显了InAs的卓越性能[17],从而推动了高纯度铟的需求。目前生产高纯度铟的技术大致可分为化学方法和物理方法。化学方法包括电解精炼[18]、熔盐电解、溶剂萃取和金属-有机工艺。物理方法包括真空蒸馏[19]、区熔法和Czochralski法[20]。电精炼是一种利用不同杂质元素在阳极溶解或阴极沉淀难易程度差异来提纯金属的技术[21,22],目前是制备4N~5N铟的主要方法[23]。日本JX Nippon Metal有限公司采用“酸浸-电积”法生产了5N高纯度铟。该工艺流程短、操作简单,但生产过程中会产生大量金属化合物、废水和废气。
区熔法利用材料熔融态和固态之间的溶解度差异来改变杂质的分布[24]。PPM Pure Metals GmbH和Dowa Electronics有限公司等公司使用这种方法从5N级原料开始提纯铟,最终达到超过6N的纯度。作为一种在国内和国际上都很重要的高纯度金属生产方法,区熔法在深度去除杂质方面具有独特优势[25]。然而,其在去除Ca、Si、Al和Tl等元素方面的效果有限,且生产效率较低。真空蒸馏是一种基于杂质元素与粗铟之间饱和蒸汽压差异的冶金工艺。通过精确控制温度和压力,可以有选择地蒸发特定杂质并使其冷凝,从而提纯金属铟[26,27]。例如,广东先进材料有限公司利用4N铟作为原料,通过真空蒸馏成功生产出了5N5高纯度铟。这种方法被认为是一种环保的冶金技术,具有操作简便、流程短和易于自动化的优点[28,29]。不过,对于Pb和Sn等饱和蒸汽压接近铟的杂质,其去除效果较差,从而限制了整体提纯效率。
本研究提出了一种两阶段真空蒸馏工艺,用于深度去除铟中的杂质。通过高温和低温阶段,该工艺能够有效分离高沸点和低沸点的杂质。此外,通过双阶段强化机制,还能更好地去除与铟具有相似蒸汽压的杂质,从而实现从铟中全面深入地提取杂质。系统实验研究了关键杂质(Zn、Cd、Pb和Tl在低温阶段,Sn、Al、Cu和Fe在高温阶段)的迁移和分布行为,有效克服了去除这些关键杂质的技术挑战。

实验部分

原材料

本实验使用的原材料是由成都一家光电材料公司生产的纯度为99.995%(4N5)的精炼铟。其化学成分见表1。

真空蒸馏装置

实验使用了我们研究小组设计的五区高温真空炉(图1a)。该系统的最高工作温度为1573K,加热速率可达10K/min。每个温度区均可独立控制温度和

基于铟的系统中组分的活性

基于铟的系统中组分的活性表示其有效浓度,这反映了由于原子间相互作用导致的理想行为的偏差。铟及其杂质元素的活性直接影响分离效率和所需工艺温度,因为它们反映了熔体中各组分之间的热力学相互作用强度。
根据分子相互作用体积模型(M-MIVM)[30](基于MATLAB程序)

结果与讨论

低温真空蒸馏的目的是蒸发沸点低于铟的杂质,同时将铟保留在坩埚中,从而去除低沸点杂质。根据计算出的饱和蒸汽压,Zn、Cd、Mg、Pb、Tl和As等杂质的蒸汽压高于铟。本实验重点研究了Zn、Cd、Pb和Tl的去除效率。

结论

本研究以金属铟作为研究对象,基于低温和高温真空蒸馏去除不同杂质的优势,进行了两阶段真空蒸馏制备超高纯度铟的理论和实验研究:
  • 1.
    进行了热力学计算,以确定活性、饱和蒸汽压、分离系数和汽液
  • CRediT作者贡献声明

    Jiapeng Zhang:撰写——初稿撰写、验证、实验研究、数据分析。Boren Ai:数据分析。Jinliang Fang:实验研究、数据分析。Lingxin Kong:撰写——审稿与编辑、验证、监督、资源协调、资金获取。Bin Yang:验证、监督。Baoqiang Xu:验证、监督。

    利益冲突声明

    作者声明没有已知的财务利益或个人关系可能影响本文的研究结果。

    致谢

    本研究得到了中国国家自然科学基金(项目编号:52422409)和中国云南省优秀青年基金(项目编号:202301AW070020)的资助。

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